(1)吸收工艺
吸收法净化有机废气，最常见的是用于净化水溶性有机物。国内已有一些有机废气吸收的实际应用实例，但净化效率都不高。目前在石油炼制及石油化工的生产及贮运中采用吸收法进行烃类气体的回收利用。吸收法控制VOCs污染的典型工艺如图所示。
含VOCs的气体由底部进人吸收塔，在上升的过程中与来自塔顶的吸收剂逆流接触而被吸收，被净化后的气体由塔顶排出。吸收了VOCs的吸收剂通过热交换器后，进人汽提塔顶部，在温度高于吸收温度或(和)压力低于吸收压力时得以解吸，吸收剂再经过溶剂冷凝器冷凝后进人吸收塔循环使用。解吸出的VOCs气体经过冷凝器、气液分离器后以纯VOCs气体的形式离开汽提塔，被进一步回收利用。该工艺适用于VOCs浓度较高、温度较低和压力较高的场合。
(2)吸收剂
吸收剂必须对被去除的VOCs有较大的溶解性，同时，如果需回收有用的VOCs组分，则回收组分不得和其他组分互溶；吸收剂的蒸气压必须相当低，如果净化过的气体被排放到大气，吸收剂的排放量必须降到最低；洗涤塔在较高的温度或较低的压力下，被吸收的VOCs必须容易从吸收剂中分离出来，并且吸收剂的蒸气压必须足够低，不会污染被回收的VOCs；吸收剂在吸收塔和汽提塔的运行条件下必须具有较好的化学稳定性及无毒无害性；吸收剂相对分子质量要尽可能低，以使吸收能力最大化。净化有机废气常用的吸收剂及其吸收的有机物见表。
(3)吸收设备
用于VOCs净化的吸收装置，多数为气液相反应器，一般要求气液有效接触面积大，气液湍流程度高，设备的压力损失小，易于操作和维修。VOCs吸收净化过程，通常污染物浓度相对较低，气体量大，因而选用气相为连续相，揣流程度较高，相界面大的如填料塔、湍球塔型较为合适。填料塔的气液接触时间、气液比均可在较大范围内调节，且结构简单，因而在VOCs吸收净化中应用较广。
